設備
試料作製装置
超高真空スパッタリング装置 #1
超高真空スパッタリング装置 #2
反応性イオンエッチング（RIE）装置
イオンビームエッチング（IBE）装置
スパッタリング装置
原子層堆積（ALD）装置
電子線（EB）描画装置（共有）
コンタクトアライナー（共有)
フォトマスク描画装置（共有）
アッシング装置（共有）
局所排気装置・ドラフトチャンバー（共有）
走査型電子顕微鏡（SEM）（共有）
高磁場熱処理装置
段差計
ウェハスクライバー
ワイヤーボンダー（共有）
特性評価装置
振動試料型磁力計（VSM）
X線回折（XRD）装置（共有）
物理特性測定装置（PPMS）
原子間力／磁気力顕微鏡（MFM/AFM）
カー効果顕微鏡
カーループ測定装置
垂直・面内磁界印加フルオートプローバー
全方位磁界フルオートプローバー
垂直・面内磁界印加セミオートプローバー
垂直・面内磁界印加マニュアルプローバー
垂直磁界印加マニュアルプローバー
全方位磁界マニュアルプローバー
光学アクセス付き高周波プローバー
回転電磁石付き冷凍機
トンネル磁気抵抗測定装置（CIPT）
シート抵抗測定装置