電気通信研究所 深見准教授研究室

設備

試料作製装置

超高真空スパッタリング装置 #1

超高真空スパッタリング装置 #2

反応性イオンエッチング(RIE)装置

イオンビームエッチング(IBE)装置

スパッタリング装置

原子層堆積(ALD)装置

電子線(EB)描画装置(共有)

コンタクトアライナー(共有)

フォトマスク描画装置(共有)

アッシング装置(共有)

局所排気装置・ドラフトチャンバー(共有)

走査型電子顕微鏡(SEM)(共有)

高磁場熱処理装置

段差計

ウェハスクライバー

ワイヤーボンダー(共有)

特性評価装置

振動試料型磁力計(VSM)

X線回折(XRD)装置(共有)

物理特性測定装置(PPMS)

原子間力/磁気力顕微鏡(MFM/AFM)

カー効果顕微鏡

カーループ測定装置

垂直・面内磁界印加フルオートプローバー

全方位磁界フルオートプローバー

垂直・面内磁界印加セミオートプローバー

垂直・面内磁界印加マニュアルプローバー

垂直磁界印加マニュアルプローバー

全方位磁界マニュアルプローバー

光学アクセス付き高周波プローバー

回転電磁石付き冷凍機

トンネル磁気抵抗測定装置(CIPT)

シート抵抗測定装置