試料作製装置
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- 超高真空スパッタリング装置 #1
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- 超高真空スパッタリング装置 #2
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- 反応性イオンエッチング（RIE）装置
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- イオンビームエッチング（IBE）装置
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- スパッタリング装置
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- 原子層堆積（ALD）装置
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- 電子線（EB）描画装置（共有）
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- コンタクトアライナー（共有)
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- フォトマスク描画装置（共有）
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- アッシング装置（共有）
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- 局所排気装置・ドラフトチャンバー（共有）
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- 走査型電子顕微鏡（SEM）（共有）
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- 高磁場熱処理装置
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- 段差計
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- ウェハスクライバー
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- ワイヤーボンダー（共有）
特性評価装置
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- 振動試料型磁力計（VSM）
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- X線回折（XRD）装置（共有）
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- 物理特性測定装置（PPMS）
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- 原子間力／磁気力顕微鏡（MFM/AFM）
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- カー効果顕微鏡
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- カーループ測定装置
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- 垂直・面内磁界印加フルオートプローバー
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- 全方位磁界フルオートプローバー
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- 垂直・面内磁界印加セミオートプローバー
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- 垂直・面内磁界印加マニュアルプローバー
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- 垂直磁界印加マニュアルプローバー
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- 全方位磁界マニュアルプローバー
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- 光学アクセス付き高周波プローバー
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- 回転電磁石付き冷凍機
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- トンネル磁気抵抗測定装置（CIPT）
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- シート抵抗測定装置
