設備
試料作製装置
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超高真空スパッタリング装置 #1
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超高真空スパッタリング装置 #2
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反応性イオンエッチング(RIE)装置
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イオンビームエッチング(IBE)装置
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スパッタリング装置
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原子層堆積(ALD)装置
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電子線(EB)描画装置(共有)
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コンタクトアライナー(共有)
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フォトマスク描画装置(共有)
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アッシング装置(共有)
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局所排気装置・ドラフトチャンバー(共有)
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走査型電子顕微鏡(SEM)(共有)
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高磁場熱処理装置
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段差計
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ウェハスクライバー
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ワイヤーボンダー(共有)
特性評価装置
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振動試料型磁力計(VSM)
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X線回折(XRD)装置(共有)
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物理特性測定装置(PPMS)
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原子間力/磁気力顕微鏡(MFM/AFM)
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カー効果顕微鏡
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カーループ測定装置
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垂直・面内磁界印加フルオートプローバー
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全方位磁界フルオートプローバー
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垂直・面内磁界印加セミオートプローバー
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垂直・面内磁界印加マニュアルプローバー
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垂直磁界印加マニュアルプローバー
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全方位磁界マニュアルプローバー
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光学アクセス付き高周波プローバー
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回転電磁石付き冷凍機
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トンネル磁気抵抗測定装置(CIPT)
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シート抵抗測定装置